图案成形

图案成形工艺从晶圆表面横向移除所选择的区域，从而最大限度地缩小线或通孔末端之间的间距（尖端到尖端的间距），最大限度地提高特征密度。

图案成形利用带状离子束能量和材料去除技术，以独特方式从电感耦合等离子体中提取出角度可调的反应带状离子束，精确地将图形雕刻成所需的形状和尺寸。图案成形用于重塑 EUV 图形，缩小间距并提高密度，而无需进行 EUV 双重图形化，从而节省了能耗、材料、水和第二次 EUV 图形化序列的成本。