半导体 (Semiconductor)
解决方案与软件
可执行洞察加速器 (AIx™)
半导体芯片制造需要数百至数千个串联的工艺步骤。为了达到理想的效果，每道工序都需要一个特定的工艺配方，配方由数百个设备参数组成，这些参数在整个工艺配方的持续时间内都可能发生变化。这样，工程师就有成千上万的工艺变量可供选择，但只有少数难以捉摸的相关因素是优化工艺配方的关键。
AIx™ 是 "Actionable Insight Accelerator" 的缩写，它使工程师能够实时观察半导体制程，在晶圆和单个芯片上进行数百万次测量，并优化数千个制程变量，以改善半导体性能、功率、面积、成本和上市时间 ( PPACt™ ) 。AIx 平台适用于所有应用材料公司的工艺设备、eBeam™ 量测系统和检测系统，并可从实验室扩展到工厂。AIx 为工程师提供了在研发期间对创新配方进行指纹识别的能力，从而 加快了这些 配方 向大规模量产 (HVM) 的转移和升级。AIx 现已投入使用，提高了逻辑芯片和存储芯片的 PPACt 。
AIx 平台包括:
ChamberAI™技术：用于应用材料公司工艺腔体的新型传感器和机器学习算法，可对变量进行实时分析
板载量测：独特的真空量测法，可在新薄膜沉积时对其进行测量，测量精度达到埃级
线上量测：基于应用材料公司电子束（eBeam）量测技术的独特算法，可将测量速度提高 100 倍，分辨率提高 50%
AppliedPRO™软件：工艺配方优化器可生成数字工艺图，加快材料和配方开发，降低变异性，扩大工艺窗口
数字孪生：AIx 平台包括应用材料公司精选腔体和系统的数字孪生模型，可进行虚拟实验，并通过我们的 EcoTwin 效率软件 按需计算半导体制造设备的能源和化学品消耗 。
计算：AIx 平台包括利用机器学习和人工智能算法存储和分析海量数据所需的计算资源
