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此系統的劑量保留率和均勻度領先業界,且具備以下好處的重要特性:
VIISta PLAD™ 技術安裝在其他 Varian 植入系統通用的 VIISta 平台。這類通用性有助縮短第一次矽晶的時間,且可促進所有應用的生產力。