Sculpta^® パターンシェーピングシステム

アプライド マテリアルズのCentura^® Sculpta^® パターニングシステムは、パターンシェーピングといわれる新しい機能を実現します。ウェーハ上のフィーチャーの寸法を正確に一方向性に変更することにより、EUVパターニングの性能を向上させます。Sculptaは、先端ロジックノードの最もクリティカルなパターニング層において、パターニングスキームの複雑さを軽減して、電力、性能、面積、コスト、市場投入までの期間（PPACt™）にメリットをもたらします。これはパターニング技術者のツールキットにブレークスルーを起こす技術です。