Sculpta^® 图案塑形系统

应用材料公司的 Centura^® Sculpta^® 图案塑形系统实现了一种称为图案塑形的新功能，可以精确和定向地修改晶圆特征图形的尺寸，从而增强 EUV 图形化性能。Sculpta 设计用于处理先进逻辑节点下最关键的图形化层。它可用于降低图形化方案的复杂性，从而实现功率、性能、面积、成本和上市时间（PPACt™）的优势，对图形化工程师的工具库形成颇有价值的补充。