| Product | 技术 | 应用 | 平台 |
|---|---|---|---|
| Aera4™ 掩膜检测 | 光掩膜, 测量与检测 | 图形化 | Aera™ |
| Centura® Tetra™ EUV 先进光掩模刻蚀系统 | 光掩膜, 刻蚀 | 图形化 | Centura® |
| Centura® Tetra™ Z 光掩膜刻蚀系统 | 光掩膜, 刻蚀 | 图形化 | Centura® |
| Applied® Sigmameltec® CTS Mask Coat Series | 光掩膜 | 图形化 | |
| Applied® Sigmameltec® MRC Mask Clean Series | 光掩膜 | 图形化 | |
| Applied® Sigmameltec® SFD Mask Develop Series | 光掩膜 | 图形化 | |
| Applied® Sigmameltec® SFB Mask Bake Series | 光掩膜 | 图形化 |
