ComPLUS 光學檢測

ICAPS（物聯網、通訊、汽車、電源和感測器）和成熟邏輯市場持續增長，需要使用 90 奈米或更大節點的傳統製造專用設備。然而，日益激烈的競爭迫使晶圓廠必須不斷創新其製程，並採用 90 奈米以下的節點，以保持差異化和成本效益。在 90奈米以下的較小節點中，晶圓廠所面臨的挑戰是使用更高（且較慢）的檢測靈敏度來發現更小的缺陷，同時維持高產量和低擁有成本 (CoO)。

ComPLUS™ 5P 光學檢測系統針對90 奈米以下設計節點的製程控制進行了優化。透過更高的雷射功率、照片倍增管、靈活的照明、偏振控制和新的檢測像素可提高靈敏度，這些都是最大化信噪比，並捕捉限制良率缺陷的關鍵特徵。此外，升級的影像處理器和載物台，以及同時進行的暗場、灰場和明場檢測技術，相較於採用多次昂貴的檢測來提供完整覆蓋的替代解決方案，更能降低擁有成本。ComPLUS 5P 系統透過顯著降低擁有成本和提高檢測靈敏度，滿足了 ICAPS 和成熟邏輯市場的新興製程控制需求。