調整材料以進行元件效能最佳化

改性

材料改性

改質可以改變材料的特性。改質技術包含如加熱、冷卻、離子轟擊及注入等物理過程以及化學處理。這些製程可以影響材料中的電子流，並提高性能及功率。

離子植入（也稱為摻雜）利用高能量將精確數量的目標材料注入基材中，以改變電氣或材料特性。例如，將銅和砷植入矽中可增加電導率，並能產生電晶體和其他元件。注入矽的其他離子種類（如氫或氟）可以形成缺陷捕集阱的鈍化保護並減少漏電流。植入的離子還可用來調整薄膜特性，以提高蝕刻速率並改變介電常數。

退火加熱處理矽的目標區域，不僅能夠在植入後恢復基材的晶格結構，也可在加熱時藉由接觸特定的化學條件來改變材料性質。電漿氮化處理可嵌入精確數量的氮、氧或其他原子，進而修改薄膜的介電常數，以滿足特定元件需求。