Aeris^®-Si

Aeris-Si 是下層前級管道清潔的整合解決方案，可用來管理二氧化矽負載並延長泵浦的使用壽命。該解決方案能達到高流量正矽酸四乙酯 (TEOS) 製程，實現最高沉積速率和產能；同時，泵浦的使用壽命可從 1 個月延長至 12 個月甚至更久，不到 1 年即可收回投資。該系統不會因清潔期間的前級管道電漿而對晶圓鑑定數據產生影響，並且所有製程參數均設置於正常範圍內。

Aeris-Si 製程在泵浦輸入口前收集二氧化矽粉末。該系統採用三氟化氮電漿技術，可將固態二氧化矽微粒轉化為對泵浦更有利的四氟化矽氣體，進而防止泵內積聚固態廢物。