拓展節能優勢產品陣容
應材持續開發更多的晶圓廠和附屬製造區的技術及服務，以提高客戶營運的永續性。
Vistara™ 半導體晶圓製造平台
Vistara 是我們的首個專為支援整合材料解決方案而設計的平台，可支援多種反應室類型和尺寸和配置。它在單一設備中整合並共同優化多個製程步驟，預估降低蝕刻應用的整體平台能源消耗達 35%，並減少化學品使用量約 30%。
Centura® Sculpta® 圖形化成形系統
Centura Sculpta 系統採用業界首創的圖案化技術，可從晶圓製程流程中移除整層EUV 光罩。這項創新系統可為每片晶圓節省超過 15 度電，減少超過0.34公斤二氧化碳當量的直接溫室氣體排放，，並節省約 15 公升的用水量。
EcoTwin™ 節能效率軟體
EcoTwin 是一個數位雙生平台，可以同時監控與建模製程配方和操作流程，協助晶片製造商優化晶圓廠中的能源和化學品使用效率。EcoTwin 軟體工具會自動產生晶圓廠和附屬製造區的碳足跡和相關消耗參數的詳細報告，以協助客戶找出降低資源消耗的機會。
iSystem 控制器
iSystem 控制器由我們和客戶台積電 (TSMC) 合作開發，能自動測量半導體製造設備的電力使用情形，並與基準值進行比較，以掌握實際能源消耗。iSystem 控制器提供持續的溫室氣體排放報告，並涵蓋其他環境指標，幫助客戶降低約 20% 的能源相關成本。
Aeris™-G
Aeris-G 是一種泵前電漿式廢氣處理解決方案，通過處理實際製程氣體量來降低能源使用。它可以安裝在每個反應室的泵所在位置內。在新設備導入時，它可以節省附屬製造區空間，減少廠務設施及排氣管路連接，最大限度降低安裝成本，同時提高溫室氣體的處理效率。
節能服務（ECO Services）
ECO Services是由應材全球服務提供的解決方案，透過此服務，大量製程設備與 附屬製造區資源可連接至具節能效益的硬體、軟體與物聯網感測器。該服務可幫助客戶測量、優化、降低並監控電力和公用設施的使用量及碳排放。