Vantageプラットフォームは、熱酸化処理用のRadOx、スパイク、ソークアニール用のRadiancePlusおよびVulcan、ミリ秒アニール処理用のAstraで構成される枚葉式高速熱処理装置(RTP)として、2012年末には世界中の工場で600台以上稼働しています。2基のチャンバで構成され、コストと占有面積を最適化するようにデザインされています。Vantageのスパイクアニール処理と熱酸化処理システムの技術は、業界をリードしています。
優れた生産性と信頼性、コンパクトなサイズを意識してデザインしたAstra DSAシステムは、競争力の高いCOO (Cost of Ownership)を提供し、同タイプのアニールに欠かせない、期待通りの生産実用性を発揮します。
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同システムの画期的なテクノロジーにより、メモリゲート酸化、STI(浅溝分離)ライナー酸化、犠牲酸化、側壁酸化、フラッシュトンネル酸化、ONO膜層など、重要な酸化ステップのスケーリング障壁を打破します。RadOxは、生産性の高い、...
同システムは、ハニカム構造型光源、7点温度計測、100 Hzクローズドループ制御、240 rpmウェーハ回転機構といった、実績のあるRadianceチャンバテクノロジーを活用しています。その最適化されたハードウェアと温度制御により、注入やその他のアニール、...
優れた温度均一性に加えて、システムは超低温から超高温(150℃〜1300℃)までの広いプロセス範囲を提供します。このように、従来のVantageRadiance®PlusRTPシステムの先進的なスパイク機能と、サブ秒アニール、超低温アニール、...