Vantage®

Vantageプラットフォームは、熱酸化処理用のRadOx、スパイク、ソークアニール用のRadiancePlusおよびVulcan、ミリ秒アニール処理用のAstraで構成される枚葉式高速熱処理装置（RTP）として、2012年末には世界中の工場で600台以上稼働しています。2基のチャンバで構成され、コストと占有面積を最適化するようにデザインされています。Vantageのスパイクアニール処理と熱酸化処理システムの技術は、業界をリードしています。