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計測 & 検査

半導体製造において、計測ウェーハ検査と共に、欠陥レビュー、解析、分類は製造シークエンスにおける各ステップの質をモニターおよび制御する手段を提供するもので、非常に重要です。

計測工程では、生産中のデバイスの物理的および電子的な特性がすべての工程で満たされているかを検証し、ウェーハ検査では、完成したデバイスにおいて表面パーティクル、パターン欠陥やその他、デバイスの性能を損なう可能性のある条件を検出します。検査によって発見された欠陥は、レビュー、解析、分類され、デバイスの物理的統合もしくは電気的性能を損なう恐れのあるものから、”ニューサンス(重要でない)”欠陥 が仕分けされます。

アプライド マテリアルズは、アプリケーションのフロントエンドからバックエンドまで、計測、検査、およびレビュー装置のフルラインナップを提供します。これらのシステムの光学能力とアルゴリズムは、自己整合型ダブルおよびクアッドパターニング、極紫外線層、計測の要求が厳しい光学近接効果補正マスク技術、完全かつ精確な撮像が難しい新興の3Dアーキテクチャといった、最先端の技術要求に応えます。また、これらシステムの最先端の能力は、チップメーカーにおいて、精確な統計的プロセス制御の確立、迅速な量産の立ち上げ、一貫した高い歩留まりの達成を可能にします。