Vantage^™ Astra^™ DSA

Vantage Astra DSA（动态表面退火）系统是应用材料公司首个采用激光技术的退火机床，可提供无以伦比的性能，满足机台持续扩展所必需的先进硅化工艺需求。它实现了先进 finFET 器件的接触电阻缩放。应用材料公司凭借 Astra DSA 技术在快速热处理 RTP 市场的领先优势，扩展了公司的退火产品组合，进入毫秒退火细分市场。应用材料公司的 Vantage Astra DSA 为客户提供了多代器件制造均不可或缺的退火性能与控制。

Astra DSA 系统在设计时充分考虑了生产效率、设备紧凑度和可靠性，具有极佳的拥有成本优势，可提供所需的生产价值，这对此类退火工艺而言至关重要。

该系统的激光器可在一毫秒内将晶圆表层顶部的几个原子层加热到 1000°C 以上，升温速率为每秒 1 百万摄氏度。瞬间从低至 100°C 的预热状态快速加热到{0}超高温状态，并实现类似的快速冷却，这一能力可显著减少源极/漏极缺陷的形成，这类缺陷会带来漏电流风险，并可能降低成品率。

Vantage 平台可采用两个 Astra 腔室的配置，也可采用一个 Astra 腔室加一个 RTP 腔室（包括 Radiance/Plus 或 RadOx）的混合配置。