Vantage^® Astra^™ DSA

어플라이드 Vantage Astra DSA(Dynamic Surface Anneal) 시스템은 어플라이드 머티어리얼즈의 첫 레이저 기반 어닐링 장비로, 지속적인 디바이스 스케일링에 필수적인 첨단 실리사이데이션을 위한 최고의 기능을 제공하며, 첨단 핀펫(finFET)디바이스를 위한 컨택 저항 스케일링을 실현하였습니다. RTP 시장에서 쌓은 선도적인 입지를 바탕으로 한 Astra DSA 기술은 어플라이드 머티어리얼즈의 어닐링 제품 포트폴리오를 밀리초 (1,000분의 1초) 어닐링으로 확장합니다. 어플라이드 Vantage Astra DSA는 고객에게 다양한 세대의 디바이스에 필수적인 어닐링 성능과 제어 능력을 제공합니다.

생산성, 소형화, 신뢰성을 고려하여 설계된 Astra DSA시스템은 소유 비용을 낮추고 이러한 유형의 어닐링에 매우 중요한 예상 생산 가치를 구현합니다.

이 시스템의 레이저가 웨이퍼 표면의 맨 위 원자층 일부를 1,000°C 넘게 가열하는 데 1,000분의 1초가 채 걸리지 않습니다(1초 당 100만°C의 가열 속도). 100°C의 예열 상태에서 초고온 상태로 순간적으로 {0}가열할 수 있고 반대로 급속하게 냉각시킬 수 있기
때문에 누설 전류의 원인이고 수율을 낮추는 소스/드레인 결함 발생을 줄입니다.

Vantage 플랫폼은 두 개의 Astra 챔버로 구성할 수도 있고 하나의 Astra 챔버와 Radiance Plus 또는 RadOx™ 같은 또 다른 RTP 챔버를 결합한 하이브리드로 구성할 수도 있습니다.