应用材料公司致力于设计性能最佳的设备，同时减少浪费、保护自然资源并以负责的方式来使用能源。秉承这一理念，我们提供的晶圆制造次洁净室解决方案，可最大程度提高效率，降低成本，并为更清洁，绿色的世界做出贡献。
我们独特的控制系统和泵前治理技术可减少环境影响，并符合 EPA 关于温室气体排放的报告法规。
应用材料公司的 Aeris™-G 系统是前级泵等离子减降解决方案，相比后级泵减降装置，该解决方案所处理的实际工艺气体量更少且更集中，因此使用的能量更少。在减降过程中，由于 Aeris-G 腔室中较低的氮容量，加上等离子分解，最多可将氮氧化物排放降至接近零的水平。Aeris...
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Aeris-Si 是一套用于晶圆厂次洁净室前级管道清洁的综合解决方案，可管理二氧化硅负载并延长泵的使用寿命。该解决方案支持高流量正硅酸四乙酯 (TEOS) 工艺，实现最高沉积速率和产能，同时泵的使用寿命从 1 个月延长至 12 个月甚至更久，从而一年不到即可收回投资。...
While monitoring tool operation, the Applied iSystem controller collects valuable data that can be used to generate resource consumption...
