Vericell^™ 太陽能晶圓偵測系統

應用材料公司的Vericell 太陽能晶圓檢測系統為業界最先進的全自動裸晶圓檢測工具，適合用在結晶矽光伏晶圓與電池生產。Vericell 系統的多種整合式檢測模組會自動評估每片晶圓，以便找出並排除生產中的缺陷晶圓，從而顯著節省生產成本。它測量並報告各種參數，包括晶圓厚度、厚度差異、翹曲和電阻率。此外Vericell 系統也會偵測各種瑕疵，例如鋸痕、邊緣碎裂、倒角損壞、污漬、針孔和微裂。

透過使用最先進的光致發光 (PL) 技術，Vericell 系統可以檢測氧循環，從而提高電池生產線產量。透過去除氧環晶圓，Vericell客戶可以全面提高工廠的平均電池效率產量，並提高獲利能力。此外，Vericell 系統具有業界最低的破損率，偵測量最高可達每小時 16,000 片晶圓。

Vericell 提供三種類型的設備，適用於太陽能晶圓和電池行業使用的全尺寸、半尺寸和矩形晶圓。

• 矽晶圓廠檢測設備
• 電池工廠IQC抽檢
• 電池工廠100%在線檢驗

Vericell 的主要特點：

• 檢測晶圓尺寸、厚度、翹曲、表面邊緣晶片、側邊緣晶片、倒角邊緣晶片、鋸痕、電阻率、污點、TTV、μ裂紋、針孔和載體壽命
• 適用於雙通道半切割晶圓（每小時產能 24,000 片晶圓）、全晶圓（每小時產能 16,000 片晶圓）
• 超薄晶圓厚度≥90μm
• 整合人工智慧和深度學習，最大限度提高檢測率
• 支援晶圓堆疊、卡匣裝卸
• 可連接MES系統
• 可支援RFID分級管理連接設備系統
• 手機APP即時監控設備狀態及統計數據
• 佔地面積小，可提供最大速度和產量
• 第一個檢查 G12 晶圓的工具

Vericell 太陽能晶圓檢測系統結合了高產能與獨特的先進檢測技術， 其合乎 SEMI^® 太陽能標準，以優化整條生產線。