열처리 및 처리
어닐링 제품은 재료의 전기적 또는 물리적 특성(전도성, 유전율, 밀도 또는 오염 감소)을 변화시키기 위해 반도체 디바이스의 제조에 광범위하게 사용됩니다.
소킹, 스파이크 또는 밀리초 (1,000분의 1초)어닐링과 고온 라디컬 산화는 여러 가지 애플리케이션 분야에 적용됩니다. 어떤 기술을 선택할 것인지는 제조 공정의 특정 시점에서 특정 온도/시간 노출을 견딜 수 있는 디바이스의 허용 한도를 포함해 여러 가지 요인에 따라 결정됩니다. 어플라이드 머티어리얼즈의 램프, 레이저 및 히터 기반 시스템 포트폴리오에는 모든 종류의 어닐링 기술이 적용되어 패턴 로딩, 열처리량 감소, 누설 전류, 계면 품질 최적화 및 고 생산성 처리와 같은 첨단 노드의 당면 과제에 대한 폭넓은 해결책을 제공합니다.
