Back to Menu
誘導加熱るつぼに基づく蒸着システム
TopCoilプラットフォームは、誘導加熱るつぼ技術によって、アプライドマテリアルズの蒸着製品群を補完します。これは、厳しい低欠陥パフォーマンスを要求する用途向けのソリューションであり、幅広い材料を成膜することもできます。
TECHNICAL DOCUMENT