AGSはまた、工場のコストを低減しつつ、環境への影響を削減し、温室効果ガスの排出に関するEPAレポートの規制を満たす、いくつかの工場環境ソリューションを提供します。
工場環境ソリューションの詳細
Applied Aeris™-Gシステムはプリポンプによるプラズマ除去ソリューションで、ポストポンプの除去ユニットよりも、実際のプロセスガスを少量かつ濃縮して使用することで、消費電力を低減します。除去処理中のAeris-Gチャンバ内で、...
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ツールの操作をモニタリングしている間に、Applied iSystemコントローラは、他の環境要素の中で、原料消費レポートおよび温室効果ガス排出量のレポート作成のために使用可能な、貴重なデータを収集します。iSystemコントローラの小さな占有面積の中で、...
