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アプライド マテリアルズのProducerは、業界で最も迅速かつコスト効果が高いプラットフォームで、非常にコンパクトな設置面積で1分間に3枚以上のウェーハを処理できます。同システムは、3台セットとなっているプロセスステーション間で同時に4枚のウェーハを移送できるロボットと、独自のダブルデッカー真空ロードロックを備えています。

More than 5,000 Producer systems have shipped worldwide. The Producer is used by every chip manufacturer in the industry for fabricating all types of devices through the most advanced technology nodes. The Producer system has established Applied’s leadership in all advanced CVD chipmaking processes, including low k, strain engineering, litho-enabling films, thermal films and high-temperature PECVD applications.