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VIISta® Trident
칩의 복잡도가 높아짐에 따라 주입 단계도 많아졌습니다. 현재 임베디드 메모리를 탑재한 CMOS 집적 회로는 필요한 주입 단계가 60개가 넘고 이 중에 많은 단계가 소자 성능에 중요합니다.
Tom Parrill이 이온 주입의 핵심적인 역할과 첨단 트랜지스터에 대한 극저온 주입 기능을 갖춘 Trident 시스템에 대해 설명합니다.
새로운 VIISta Trident 시스템은 반도체 업계에서 가장 진보 된 단일 웨이퍼 고전류 이온 주입 솔루션입니다. 이 시스템은 생산 현장에서 검증된 VIISta 고전류 이온 주입 플랫폼의 단일 웨이퍼 구조를 사용하여 에너지 순도, 균일성, 각도와 주입 속도 제어에 대한 새로운 기준을 확립하고 있고 높은 수율과 최고의 생산성으로 차세대 노드의 요건을 충족시킵니다.
Trident 플랫폼은 이중 자석 리본 빔 구조와 혁신적인 에너지 순도 모듈(EPM)을 통합하여 정밀하고 제어된 주입 기능을 구현합니다. 또한 EPM은 빔 라인 요소에서 생성된 입자들을 효과적으로 필터링하여 그러한 오염으로부터 웨이퍼를 효과적으로 분리합니다. VIISta Trident 플랫폼은 진정한 0도 주입과 정밀한 고경사각 주입을 위해 매우 정확하고 재현성이 높은 입사각 제어를 구현하는 독보적인 닫힌 루프형 제어 시스템을 사용해 빔 각도를 측정하고 교정할 수 있는 유일한 고전류 시스템입니다.