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低溫多晶矽 (LTPS) 電晶體的製造比非晶矽 (a-Si) 和金屬氧化物電晶體的生產更加複雜,需要額外的步驟和製程。
雖然 LTPS 會增加成本,但它的遷移率比非晶矽 (a-Si) 螢幕要高上百倍,還能提供更高的解析度和像素密度,因此它是 OLED 行動裝置、超高清電視和視網膜顯示器智慧手機和平板電腦的最佳解決方案。更大基板尺寸的 LTPS 電漿輔助化學氣相沉積 (PECVD) 設備的引入有助於領先的面板製造商將 LTPS 技術擴展到更大的基板上,從而降低這些顯示器的成本。