Vistara Platform

Vistara™

Vistara™는 유연성, 인텔리전스, 지속 가능성이라는 세 가지 핵심 요소로 구성된 모듈식 플랫폼입니다. Vistara를 사용하면 칩 제조업체는 가장 복잡한 레시피를 단일 플랫폼에 배포하고, 운영 비용을 절감하고, 출시 속도를 단축하고, 지속 가능성 이니셔티브를 발전시킬 수 있습니다.

유연성이 뛰어난 Vistara는 어플라이드와 파트너의 다양한 챔버 유형, 크기 및 구성과 호환될 수 있으며, 4개 또는 6개의 웨이퍼 배치 로드 포트와 최소 4개에서 최대 12개의 프로세스 챔버로 구성할 수 있습니다. Vistara는 원자층 증착 및 화학 기상 증착과 같은 공정에 사용되는 소형 챔버와 에피택시 및 에칭과 같은 공정에 사용되는 대형 챔버와도 호환됩니다. 어플라이드와 고객은 이러한 챔버를 결합하여 IMS™(Integrated Materials Solution®) 레시피를 개발할 수 있으며, 이를 통해여러 순차적 웨이퍼 제조 공정 단계가 진공 상태의 동일한 시스템에서 완료됩니다.

Vistara 시스템은 연구개발부터 공정 이전 및 증산, 양산까지 응용되는 어플라이드의 AIx™ 소프트웨어 플랫폼에 방대한 실시간 데이터를 공급하는 수천 개의 센서로 구성됩니다. 수천 가지 공정 변수에서 도출한 실행 가능한 데이터를 통해 엔지니어는 머신러닝 및 인공지능(AI) 의 힘을 활용하고 레시피를 가속화하여 최상의 칩 성능과 전력 및 광범위한 넓은 공정 윈도우를 얻을 수 있습니다. 펌프 및 환기 시간을 최적화하기 위해 로드 락 (load lock)을 지능적으로 제어하는 공장 인터페이스 모듈을 포함하여 플랫폼 전체에 인텔리전스가 통합되어 있어 칩 제조업체가 입자와 결함을 줄여 수율을 극대화할 수 있습니다. 플랫폼 로봇은 자동 보정으로 작동 개시 시간을 최대 75%까지 줄입니다. Vistara는 생산 과정에서 수동 개입을 최소화하고 가동 시간을 극대화하며 유지 보수가 필요한 상황을 예측하기 위해 자신의 구성 요소를 지속적으로 모니터링하고 교정합니다.

반도체 공정의 복잡성과 단계가 증가함에 따라 각 웨이퍼를 생산하는 데 필요한 에너지와 재료의 양도 증가합니다. Vistara는 2030년까지 등가 에너지 사용, 화학 물질 사용의 영향 및 클린룸 설치 공간 요구 사항을 모두 30% 감소시키려는 어플라이드의 "3x30" 이니셔티브를 발전시키기 위해 특별히 제작된 최초의 플랫폼입니다. Vistara는 플랫폼이 에너지를 사용하는 방식을 최적화했습니다. 펌프, 열 교환기, 냉각기를 포함한 집약적인 서브팹 구성 요소를 사용하고 Vistara의 가스 패널을 재설계했습니다. 이러한 개선 사항은 이전 플랫폼에 비해 플랫폼 에너지 소비를 최대 35% 줄여 칩 제조업체가 스콥 1 및 스콥 2 배출량을 줄이는 데 도움이 됩니다. Vistara는 또한 시스템의 클린룸 공간을 30%까지 줄입니다.