세계적 수준의 포토마스크 CD 균일도를 얻으려면 포토레지스트 코팅 품질부터 관리해야 합니다. 나노미터급에서는 챔버 내부 공기의 순도, 온도, 습도, 마스크 표면 전처리, 포토레지스트 디스펜스, 스핀 특성, PAB(도포후 베이크) 윤곽 제어 등 여러 가지 미세한 요인이 중요해집니다.
Sigmameltec의 CTS 시스템은 재현성이 우수하고 결함이 극히 적은 고품질의 포토레지스트층 형성을 뒷받침하는 제어된 환경을 제공합니다. 블랭크 마스크 전처리로 접착력이 뛰어난 청결한 표면을 확보할 수 있고, 엄격하게 조절된 포토레지스트 디스펜스와 스핀 프로그램으로 1nm(3s) 수준의 코팅 균일도를 얻을 수 있습니다. 코팅 챔버는 3가지 포토레지스트용 디스펜스 암이 포함되어 있으며 옵션으로 암을 추가할 수 있습니다. 자동 용제 세척으로 항상 청결한 코팅 환경이 보장됩니다.
주요 특징 및 장점