Applied SmartWeb^®

フレキシブル・エレクトロニクスおよび光学多層膜向けの
ロール・ツー・ロール・スパッタ成膜システム

• 研究開発から生産までの完全な拡張性
• ウェブ幅は400mm（SmartWeb^® SL）から1400mm（SmartWeb^® XL）まで
• 単一パスで3（SmartWeb^® SL）から12（SmartWeb^® XL）の蒸着源
• 平面式および回転式カソード、DCおよびACプロセス
• 優れた成膜品質
• インライン計測
• 基板ロールの迅速なロードおよびアンロード
• 低い管理コスト