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어플라이드 X 우시오, 혁신적 디지털 리소그래피 기술로 AI 시대 더욱 강력한 컴퓨팅 시스템 구현 지원
- 전략적 파트너십으로 글라스 및 신소재 기반 대형 기판에 이종 칩렛 집적화하는 반도체 업계 움직임 가속화
- 어플라이드 패널 가공 분야 리더십과 우시오 패키징용 리소그래피 기술력 결합
- 새로운 디지털 리소그래피 기술… 서브 마이크론 크기 배선 사용해 칩 조합 가능
디지털 리소그래피 기술(DLT)
[2024년 1월 4일] 재료공학 솔루션 분야 글로벌 선도 기업 어플라이드 머티어리얼즈(www.appliedmaterials.com/ko)가 우시오(Ushio)와 전략적 파트너십을 맺고 3D 패키지에 칩렛을 이종접합 제조하는 업계 로드맵을 가속화한다. 양사는 이번 파트너십으로 인공지능(AI) 컴퓨팅 시대 필요한 최첨단 기판 패터닝에 특화 설계된 최초의 디지털 리소그래피 시스템을 함께 출시한다.
AI 워크로드가 급격히 증가되면서 뛰어난 기능을 갖춘 반도체 칩 수요가 늘어나고 있다. 전통적인 무어의 법칙으로 감당할 수 없는 수준의 AI 미세화가 요구되면서 반도체 제조사들은 모놀리식(monolithic) 칩과 동일하거나, 그 이상의 성능 및 대역폭을 제공하기 위해 최첨단 패키지에 여러 칩렛을 통합하는 이종접합(HI∙Heterogeneous Integration) 제조 기술을 적극 채택하고 있다. 반도체 업계는 초미세 인터커넥트 피치와 탁월한 전기·기계적 특성 구현할 수 있는 글라스와 같은 신소재 기반의 대형 패키지 기판을 필요로 한다. 패널 가공 분야를 선도하는 어플라이드와 패키징용 리소그래피 분야에서 리더십을 지닌 우시오는 이번 파트너십으로 이 같은 전환을 촉진한다.
순다르 라마무르티(Dr. Sundar Ramamurthy) 어플라이드 HI∙ICAPS∙에피택시∙반도체 제품 그룹 부사장 겸 총괄매니저는 “어플라이드의 새로운 디지털 리소그래피 기술(DLT)은 고객의 최첨단 기판 로드맵에 대한 니즈를 직접 해결하는 최초의 패터닝 시스템”이라며, “어플라이드는 대형 기판 가공에서의 독보적인 전문성, 업계에서 가장 폭넓은 HI 기술 포트폴리오, 풍부한 연구개발 자원을 적극 활용해 고성능 컴퓨팅의 차세대 혁신을 지원한다”고 말했다.
윌리엄 맥킨지(William F. Mackenzie) 우시오 광자 솔루션 글로벌 사업부 그룹 최고책임자 겸 총괄매니저는 “우시오는 약 20년 동안 패키징 애플리케이션에 필요한 리소그래피 시스템을 구축하고 전 세계 4천여개 툴을 제공했다”며 “새로 체결된 파트너십에 따라 우시오는 확장성 높은 제조 생태계와 탄탄한 현장 서비스 인프라를 통해 DLT 도입을 촉진하고, 급속도로 전개되는 패키징 기술 분야의 당면과제를 해결하기 위해 포트폴리오를 확장할 것”이라고 전했다.
DLT 시스템
새로운 DLT 시스템은 최첨단 기판 애플리케이션에 필요한 분해능을 구현하고 대량 생산에 요구되는 처리량을 제공하는 유일한 리소그래피 기술이다. 선폭 2마이크로미터(µm) 미만 배선 패터닝이 가능한 DLT 시스템을 활용하면 반도체 제조사는 웨이퍼, 글라스 및 유기소재로 제작된 대형 패널 등 모든 종류의 기판에 칩렛 아키텍처에 필요한 최고 수준의 집적도를 구현할 수 있다. DLT 시스템은 예기치 못한 기판 휨 문제를 해결하고 오버레이 정확도를 제공하기 위해 특별히 설계됐다. 이미 많은 고객사에 생산 시스템이 납품됐고, 글라스 기판 포함한 다양한 최첨단 패키지 기판에 2µm 패터닝이 성공적으로 구현됐다.
어플라이드는 DLT 시스템 기반 기술을 개척했으며 우시오와 협력을 통해 1µm 이하 최첨단 패키징 선폭을 위한 연구개발을 지속하고 확장할 계획이다. 우시오는 풍부한 제조 기술 및 대면 고객 인프라를 활용해 DLT 도입을 가속화한다. 양사는 이번 파트너십으로 최첨단 패키징 애플리케이션 분야에서 가장 방대한 리소그래피 솔루션 포트폴리오를 고객에 제공한다.
Forward-Looking Statements
This press release contains forward-looking statements, including those regarding anticipated growth and trends in our businesses and markets, industry outlooks and demand drivers, the benefits of the Digital Lithography Technology (DLT) and the partnership between Applied and Ushio, our market opportunities for advanced packaging lithography and other technologies, and other statements that are not historical facts. These statements and their underlying assumptions are subject to risks and uncertainties and are not guarantees of future performance.
Factors that could cause actual results to differ materially from those expressed or implied by such statements include, without limitation: the level of demand for the DLT; failure to realize the anticipated benefits of the partnership between Applied and Ushio; global economic, political and industry conditions; the introduction of new and innovative technologies, and the timing of technology transitions; our ability to develop, deliver and support new products and technologies; market acceptance of existing and newly developed products; our ability to obtain and protect intellectual property rights in key technologies; our ability to accurately forecast future results, market conditions, customer requirements and business needs; and other risks and uncertainties described in our SEC filings, including our recent Forms 10-K, 10-Q and 8-K filed with the U.S. Securities and Exchange Commission. All forward-looking statements are based on Applied and Ushio management’s current estimates, projections and assumptions, and neither company assumes any obligation to update them.
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어플라이드 머티어리얼즈 (Applied Materials)
어플라이드 머티어리얼즈는 전세계 모든 반도체 칩과 첨단 디스플레이 제품 생산에 사용되는 재료공학 솔루션 분야 선도 기업이다. 원자 단위를 비롯해 산업 전반을 아우르는 재료공학 분야 전문성으로 고객의 가능성을 현실로 구현하고 있다. 미래를 여는 새로운 기술을 개발하는 혁신 기업이다.
어플라이드 머티어리얼즈 코리아 (Applied Materials Korea)
미국 실리콘밸리에 본사를 둔 어플라이드 머티어리얼즈(Applied Materials)의 한국법인 어플라이드 머티어리얼즈 코리아(Applied Materials Korea)는 최첨단 기술과 글로벌 선진 사례를 국내 공유하고, 국내 기업으로부터 부품을 조달 받으며 한국 IT 산업 발전에 기여해 왔다. 1989년 반도체 장비 분야를 시작으로 디스플레이 장비 분야까지 확장하여 현재까지 활발한 사업을 이어오고 있다. 어플라이드 머티어리얼즈에 대한 자세한 정보는 웹사이트, 블로그, 페이스북, 인스타그램, 링크드인, 유튜브에서 확인 가능하다.
보도자료 문의
어플라이드 코리아 | 김지혜 |