VLSI Research の CEO、G・ダン・ハッチソン氏は、「アプライド マテリアルズは、画期的な Producerプラットフォームの開発により、かつてない規模の快挙を成し遂げました。きわめて 柔軟性の高いアーキテクチャは、いくつもの技術世代に対応しながら、今なお並外れた生産 性を維持しているのです。Producer は今日に至るまで、半導体メーカーに斬新な発想と製 造手段を提供し続けてきました。半導体業界にとっても重要なプロセス装置の一つである Producer が、大きな節目を迎えたことをお祝い申し上げます」と語っています。

インテグレーテッド プロセス プラットフォーム

Producer プラットフォームは当初、化学気相成長（CVD）に特化した枚葉式処理装置とし て登場し、業界標準となって普及しました。その後、アプライド マテリアルズはこのプラットフ ォームの機能を拡充し、エッチング、選択的除去、トリートメント技術への対応も可能にしまし た。今日では、従来の半導体材料の多くがムーアの法則に沿った微細化にもはや物理的に 対応不可能な段階を迎えつつあります。そこでアプライド マテリアルズは、元素周期表を超 えた新材料の開発に取り組み、取り扱いが難しくとも、チップ性能と省エネ性のさらなる改善 を目指しています。この挑戦に対して、Producer プラットフォームは成膜とトリートメント、成 膜とエッチング、成膜と選択的除去など、さまざまな組み合わせを同一システム上および真 空下で実現する「インテグレーテッド プロセス プラットフォーム」の機能を実現しました。

数字が示すProducer の特長

• 現在までに180nm から 5nm まで延べ 10 技術ノードに対応
• 20 年にわたり銅、歪み技術、high-k メタルゲート、FinFET、3D NAND など、業界の 技術転換をサポート
• 処理したシリコンの延べ面積は 19 億㎡、ニューヨーク市中心部マンハッタンの面積の 30 倍に相当

アプライド マテリアルズ（Nasdaq: AMAT）は、マテリアルズ エンジニアリングのソリューションを提 供するリーダーとして、世界中のほぼ全ての半導体チップや先進ディスプレイの製造に寄与します。 原子レベルの材料制御を産業規模で実現する専門知識により、お客様が可能性を現実に変える のを支援します。アプライド マテリアルズはイノベーションを通じて未来をひらく技術を可能にしま す。

詳しい情報はホームページ：http://www.appliedmaterials.com でもご覧いただけます。

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このリリースは 7 月 2 日米国においてアプライド マテリアルズが行った英文プレスリリースをアプライド マテリアルズ ジャパン株式会社が翻訳の上、発表するものです。

アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社（本社：東京都、代表取締役社長：中尾 均）は 1979 年 10 月に設立。大阪支店のほか 14 のサービスセンターを置き、日本の顧客へのサポート体制を整えていま す。

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アプライド マテリアルズ ジャパン株式会社 (Tel: 03-6812-6801)
ホームページ： http://www.appliedmaterials.com

July 04, 2018