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TECHNICAL DOCUMENTS
Security Brochure (1.2 MB)
汲取超过35年的电子束和溅射卷对卷镀膜经验,TopBeam 1100S系统结合了两种制程领域的优势:
TopBeam 1100S系统是厚氧化物膜层与薄金属膜层堆叠的最优解决方案。单个膜层的涂覆速度可相互匹配,并且两种膜层都可以通过单次涂覆完成。在其他情况下或是更复杂的膜层堆叠,则可以使用反向卷绕系统。