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光罩

光罩可透過實現數十億元件的晶片設計,讓晶體管微縮達到大幅進展。隨著晶體管複雜性的增加以及 193 奈米光學微影的延伸,每個晶片設計都需要在 7 奈米節點採用 80 個或者更多的光罩。