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离子注入

离子注入(一种掺杂形式)是集成电路制造中不可或缺的一环。随着芯片设计的日益复杂,所需的离子注入工序亦相应增加。当今,采用嵌入式存储器的 CMOS 集成电路的注入工序可能多达 60 多道。