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外延生长

外延工艺用于半导体制造,其功能要么是生成制造半导体器件所需的完美晶体基层,要么是改变下层的力学属性来提升其导电性能。


后面提到的应用统称为应变工程;这类工程主要是在晶体管栅极下方沟道材料的晶格中生成压缩应力或拉伸应力。 应用材料公司领先业界的专有外延生长技术可生成高度均匀的应变薄膜,实现了掺杂原子的精确放置和极低的缺陷度。