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材料改性

材料改性可以改变材料的特性。改性技术包括物理工艺,如加热、冷却、离子轰击和注入,还有一些化学处理方式。这些工艺可以影响电子在材料中的流动,并提高相应的性能和功率。

离子注入(也称为掺杂)是利用高能量把精确数量的目标材料分子注入到主体材料中,从而改变其电学特性或材料特性。例如,将硼和砷注入硅中可增加其导电性,并有助于制作晶体管和其他器件。向硅中注入氢或氟等其他物质可以钝化缺陷,从而降低漏电。注入技术也可用于改变薄膜特性,以提高刻蚀速率并改变介电常数。

利用退火工艺可对硅的目标区域进行加热,不仅能够在注入后恢复基质材料的晶格,而且能够在加热时通过暴露于选定化学物质来改变材料特性。等离子氮化可以嵌入精确量的氮、氧或其他物质,从而改变薄膜的介电常数以满足特定器件的需求。

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