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APPLIED HEADSMART®

APPLIED HEADSMART®
正確的拋光頭搭配適用的零件

HeadSmart 是 CMP 拋光頭換新服務的 Total Kit Management® (全面套件管理) 解決方案,綜合提供清潔、零件更換、再裝配和測試等服務。HeadSmart 可確保 CMP 拋光頭以最高品質換新,進而提高設備效能。

  • 固定價格的整合解決方案,因此可以作成本預測
  • 拋光頭非現場換新,可節省寶貴的佔地空間
  • 由於拋光頭效能分佈更緊密,成本可預測性更強
  • 在每個拋光頭裝入設備前進行全面的多點認證

  • 針對每個拋光頭提供定制物料清單,包含 (1) 應用材料公司認證的原廠零件和 (2) 客戶專用的零件編號和更換頻率
  • 應用材料公司最佳實務和知識庫查閱權限
  • 遵照已核准的最佳已知方法的換新程序
  • 往返晶圓廠的運送

該解決方案與可選附加服務 QuickStart™(使 CMP 固定環進入生產就緒狀態)結合使用,提供拋光頭老化測試功能,最高可將設備正常運轉率提高 5%。該組合方案還可(1) 減少拋光頭早期故障,(2) 由於拋光頭效能的更緊密分佈而改善可預測的效能和成本,進而使 MWBR 提高 50% 以上