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低溫多晶矽 (LTPS) 電晶體的製造比非晶矽 (a-Si) 和金屬氧化物電晶體的生產更加複雜,需要額外的步驟和製程。
雖然 LTPS 會增加成本,但它的遷移率比非晶矽 (a-Si) 螢幕要高上百倍,還能提供更高的解析度和像素密度,因此它是 OLED 行動裝置、超高清電視和視網膜顯示器智慧手機和平板電腦的最佳解決方案。更大基板尺寸的 LTPS 電漿輔助化學氣相沉積 (PECVD) 設備的引入有助於領先的面板製造商將 LTPS 技術擴展到更大的基板上,從而降低這些顯示器的成本。
AKT EBT TFT 陣列測試儀能夠以最小的機械運動實現高可靠性、低預定停機時間和低運作成本。電子束陣列測試系統具備快速、大面積光束定位功能,可讓多個電子束並行,從而實現高產能。極致的小光束點尺寸和精確的光束定位性能使得超高解析度應用成為可能,...
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AKT-PiVot 系統 25KPX PVD 可在 6 代線 (1500x1850 mm²) 基板上沉積氧化銦錫 (ITO)、氧化銦鎵鋅 (IGZO) 和金屬等薄膜電晶體的關鍵薄膜和連接部分,適用於 LTPS/LTPO 行動裝置。集群概念 (cluster)...
應用材料的 AKT-PX 系列 PECVD 系統可在 1.6 - 5.7m2(5 代線至 8.5 代線)的玻璃基板上,沉積高度均勻的低溫多晶矽 (LTPS) 薄膜。LTPS 技術是一種已經得到驗證的方法,在主動矩陣有機發光二極體 (AMOLED)...