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Semiconductor scaling continues steadily into the single-digit nodes, setting increasingly demanding requirements for precision and...
텅스텐은 낮은 저항과 벌크 충진 특성으로 인해 중간 라인(MOL) 컨택에서 갭 충진 재료로 널리 사용되었습니다. MOL 컨택은 트랜지스터와 인터커넥트 간에 중요한 전기적 링크를 형성합니다. 따라서 전반적인 소자 성능을 위해 낮은 저항성...
Nokota 시스템은 다양한 패키징 방식에 사용되는 전 범위의 플레이팅 공정에 대하여 동급 최강의 성능을 제공하는 고생산성 웨이퍼 레벨 패키징 툴로서 어플라이드 머티어리얼즈의 전기화학 증착 제품군을 확장합니다. 이 제품군은 플립 칩 및 웨이퍼...
결함 검사, 분류, 분석은 반도체의 각 제조 단계에서 품질을 감시하고 통제하는 수단으로서 반도체 제조에 있어 매우 중요합니다. 패턴이 미세화되고 반도체 소자의 복잡도가 높아짐에 따라 그 크기가 작아지고 3D 구조내 위치를 확인하기 힘든 임계...
집적 회로와 구성품이 계속해서 미세화되면서 구성품간의 금속 인터커넥트와 컨택도 작아지고 있습니다. 그에 따라 이러한 인터커넥트의 저항이 커지고 있습니다. 더 작고 빠른 전자 기기를 구현하려면 추가적인 미세화가 가능하도록 저항을 최소한으로...
In semiconductor manufacturing, unrealized manufacturing capacity, lag‐time due to workstation events and exception handling can all...
어플라이드 Aera4 마스크 검사 시스템은 트루 에어리얼 이미징과 최첨단 고해상도 이미징을 차별화된 방식으로 결합한 4세대 193nm 기반 검사 장비입니다.
새로운 리소그래피급 렌즈가 탑재된 Aera4 시스템은 표준 고행사도...
어플라이드 Aeris™-G 시스템은 프리 펌프 플라즈마 방식의 저감 솔루션으로 실제 공정 가스량을 처리해서 더 적은 에너지를 소비하기 때문에 포스트 펌프 방식의 저감 장치에서 처리되는 것보다 더 낮고 더 농축된 가스량을 사용합니다. 저감 과정...
Applied’s new AKT 55KS PECVD system brings market-leading precision plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technology to...
With minimal mechanical motion the AKT EBT TFT array tester realizes high-reliability, low scheduled down time and low running cost. The...
Current inline automated optical defect inspection tools for displays are not as effective as scanning electron microscopy (SEM)...
As a fully automated vertical in-line sputtering system, the NEW ARISTO provides the highest throughput in the industry. Automated...
A state-of-the-art capacitive touch panel consists of multiple silicon dioxide (SiO2) indium tin oxide (ITO) metal and metal alloy films...
AKT-PECVD systems offer processes for both amorphous silicon (a-Si) and metal oxide (MOx) backplane technologies. Available films...
The AKT-PiVot 55K DT PVD and 25K DT PVD systems deposit critical film layers that create TFTs and interconnects on 2200mm x 2500mm and...
The Applied AKT-PX family of PECVD systems deposits highly-uniform low temperature polysilicon (LTPS) films on glass substrates from 1.6...
SmartFactory Rx Analytics & Control increases yield, prevents deviations, and assures quality.
Based on the proven technology of APF RTD®, the potential to produce more with the same equipment and personnel, while doing it in a...
통합 공정 시스템인 Baccini Soft Line은 낮은 자재 손상률(<0.2%)과 높은 시스템 가용성(>97%)으로 100 µm 두께의 웨이퍼를 대량 생산하는 스크린 인쇄 기술에 큰 혁신을 일으켰습니다.시간당 무려 1,...
CleanCoat is a plasma coating Total Kit Management® solution that delivers higher surface roughness and increased surface area. It...
HeadSmart는 세정, 부품 교환, 재조립, 검사를 통합하는 Total Kit Management® CMP 헤드 리빌드 서비스입니다. HeadSmart를 통해 최고 품질의 CMP 헤드 리빌드를 수행하여 장비 성능을 향상시킬 수 있습니다....
Ginestra™ is a software product designed to simulate the operation and electrical characteristics of modern logic (e.g., FinFET, FeFET)...
The Applied PECVD 5.7 system deposits the active layers of thin film silicon solar panels on glass substrates up to 5.7m2 in area...
