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PIKA™ PVD

어플라이드 머티어리얼즈의 Pika PVD 시스템은 오늘날 업계에서 가장 작고 가장 빠른 단일 웨이퍼 PVD 장비로, 낮은 운영비용(CoO)으로 고성능 R&D 및 소량 생산을 위해 위해 설계되었습니다. 소형 시스템(1657mm x 755mm x 1822mm)은 탈기(degas), 전세정(preclean), 스퍼터(sputter) 증착 모듈과 고진공 로보틱 이송 챔버 및 카세트(cassette) 간의 완전 자동화를 내장하고 있습니다. 시스템은 92% 이상의 가동률로 높은 신뢰도를 입증합니다.

단일 금속 스퍼터 또는 금속과 산화물의 합금을 코-스퍼터링(co-sputtering)할 수 있는 반응성 스퍼터 공정을 위해 DC, 펄스(pulse) DC, RF를 비롯한 다양한 PVD 스퍼터 소스를 선택할 수 있습니다. 검증된 D-source 마그네트론 기술을 통해 실리콘, 유리, 유기 재료, 금속과 갈륨 비소 또는 기타 III-V 화합물의 기판에 다양한 단일 및 다층 필름을 증착할 수 있습니다. Pika 시스템은 플러그 앤 플레이(plug-and-play)설계로 설치 시간을 최소화합니다.