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Centura®

アプライド マテリアルズ製装置の中で、最も汎用性のあるCenturaシステムは、ALD、CVD、エピタキシー、エッチング、フォトマスク製造、PVD、プラズマドーピング、プラズマ窒化、RTP、さらにはHigh-kトランジスターゲートスタック製造といった、複数のステップが統合されたプロセスまで、比類のない幅広いアプリケーション向けに、全世界で8000台以上出荷しています。

Centuraのアーキテクチャーでは4つのプロセスステーションと2つの補助チャンバを、超高信頼性の磁気結合型真空ロボットを搭載した中央の搬送モジュールの周りに配置しています。