Vericell太阳能晶圆检测系统

应用材料公司的Vericell 太阳能晶圆检测系统是业内先进的全自动裸晶圆检测工具,适用于晶体硅光伏晶圆和电池生产。Vericell 系统的多个集成检测模块可自动评估每片晶圆,以发现并消除生产中的缺陷晶圆,从而显著节省生产成本。 它可以测量和报告各种参数,包括晶圆厚度、厚度变化、翘曲和电阻率。Vericell 系统还能检测锯痕、崩边、倒角损坏、污点、针孔和微裂纹等缺陷。

通过使用先进的光致发光 (PL) 技术,Vericell 系统可以检测氧圈,从而提高电池产线的产量。通过去除氧圈晶圆,Vericell 客户可以全面提高工厂的平均电池效率产量,并提高工厂的利润率。此外,Vericell 系统还具有业内最低的破损率和最高的检测吞吐量(每小时高达 16000 片晶圆)。

Vericell 为太阳能晶圆和电池行业使用的全尺寸、半尺寸和矩形晶圆提供三种类型的设备。

  • 硅晶圆工厂检测设备
  • IQC电池工厂抽样检查
  • 对电池工厂进行 100% 在线检查

Vericell 的主要特点

  • 检测晶圆尺寸、厚度、翘曲、表面边缘芯片、侧面边缘芯片、倒角边缘芯片、锯痕、电阻率、污点、TTV、μ 裂纹、针孔和载体寿命
  • 可用于双通道半切割晶圆(吞吐量为每小时 24000 片晶圆)、整片晶圆(吞吐量为每小时 16000 片晶圆)
  • 超薄晶圆厚度 ≥90μm
  • 集成人工智能和深度学习,最大限度提高检测率
  • 支持晶圆堆叠、盒式装载和卸载
  • 可连接 MES 系统
  • 可支持 RFID 分级管理连接设备系统
  • 移动端应用程序可实时监控设备状态和统计数据
  • 小占地面积实现速度和吞吐量最大话
  • 首个检测 G12 晶圆的工具

Vericell 太阳能晶圆检测系统将高生产率与符合 SEMI​™​太阳能标准的独特先进检测技术相结合,以优化整个生产线。

Applied Vericell Solar Wafer Inspection System