Vericell^™ 太阳能晶圆检测系统

应用材料公司的Vericell 太阳能晶圆检测系统是业内先进的全自动裸晶圆检测工具，适用于晶体硅光伏晶圆和电池生产。Vericell 系统的多个集成检测模块可自动评估每片晶圆，以发现并消除生产中的缺陷晶圆，从而显著节省生产成本。 它可以测量和报告各种参数，包括晶圆厚度、厚度变化、翘曲和电阻率。Vericell 系统还能检测锯痕、崩边、倒角损坏、污点、针孔和微裂纹等缺陷。

通过使用先进的光致发光 (PL) 技术，Vericell 系统可以检测氧圈，从而提高电池产线的产量。通过去除氧圈晶圆，Vericell 客户可以全面提高工厂的平均电池效率产量，并提高工厂的利润率。此外，Vericell 系统还具有业内最低的破损率和最高的检测吞吐量（每小时高达 16000 片晶圆）。

Vericell 为太阳能晶圆和电池行业使用的全尺寸、半尺寸和矩形晶圆提供三种类型的设备。

• 硅晶圆工厂检测设备
• IQC电池工厂抽样检查
• 对电池工厂进行 100% 在线检查

Vericell 的主要特点

• 检测晶圆尺寸、厚度、翘曲、表面边缘芯片、侧面边缘芯片、倒角边缘芯片、锯痕、电阻率、污点、TTV、μ 裂纹、针孔和载体寿命
• 可用于双通道半切割晶圆（吞吐量为每小时 24000 片晶圆）、整片晶圆（吞吐量为每小时 16000 片晶圆）
• 超薄晶圆厚度 ≥90μm
• 集成人工智能和深度学习，最大限度提高检测率
• 支持晶圆堆叠、盒式装载和卸载
• 可连接 MES 系统
• 可支持 RFID 分级管理连接设备系统
• 移动端应用程序可实时监控设备状态和统计数据
• 小占地面积实现速度和吞吐量最大话
• 首个检测 G12 晶圆的工具

Vericell 太阳能晶圆检测系统将高生产率与符合 SEMI^​™​太阳能标准的独特先进检测技术相结合，以优化整个生产线。