skip to main content

VIISta®

VIISta 平台是瓦里安半導體設備公司 (VSE) 於 1998 年推出,是業界首款支援完整植入產品系列的通用平台。此平台設計可容納四種不同產品 (高電流、中電流、高能量和電漿摻雜),因此能達到最大通用性。

瓦里安半導體設備公司 (VSE) 所有植入產品有通用的離子產生原始碼模組、終端站 / 製程反應室、晶圓處理和軟體元素,因此能簡化維護、訓練以及產品支援,進而降低產品支援和製造成本,提升工程創造力。