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快速升溫製程處理 (RTP)

快速升溫製程處理會在半導體元件製程生產中重複數次,目的是為了活化植入摻雜物或變更材料狀態 (或階段),以強化所需要的電性 (例如傳導性) 。以浸入、尖峰或毫秒退火和乾式快速氧化作不同應用。