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微機電系統 (MEMS)

MEMS 元件擴大使用範圍 (包括加速度計、陀螺儀和麥克風等應用),成為行動、汽車和醫療設備市場持續轉型的主要動力。隨著多功能的發展,或「組合」感測器封裝 MEMS 元件占用面積更小,使得類似形狀因子的產能加倍,因而加速元件的採用。要實現這些組合元件需要使用新材料和元件整合方案,其中包括沉積和蝕刻厚磊晶以使功率降低,以及…