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離子植入

離子植入 (一種摻雜形式) 是積體電路製造中不可或缺的一環。隨著晶片設計的日益複雜,所需的離子植入的步驟亦相對增加。如今,具備嵌入式記憶體的 CMOS 積體電路可能需要高達 60 道植入步驟。