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Endura®

我們的 Endura 平台是半導體產業有史以來最成功的金屬化系統。Endura 系統提供突破性的技術與高水準的可靠性、適用性、彈性,遠遠超越現有的功能,達到半導體金屬化的革新。過去 20 年製造的大多數微晶片均由 Endura 系統設計,目前全球已有 100 位以上客戶使用超過 4,500 台的 Endura 系統。

Endura® 系統擁有許多第一:業界第一款超高真空生產系統,能大幅提升薄膜純度,因此能降低電遷移達一個數量級,讓我們的客戶能生產第一款可靠的鋁導線。此系統有第一款磁耦合真空自動機械,並具備絕佳的可靠性和第一款多達九個製程反應室的分段式真空架構,賦予系統混搭製程反應室的獨特能力,建立整合式多階段製程,至今仍然無其它系統能出其右。