skip to main content

Centura®

Centura 是應用材料具備最多元功能的平台,現已銷售給全球客戶逾 8,000 件,用於各種領域的應用,包含 ALD、CVD、磊晶、蝕刻、光罩製程、PVD、電漿摻雜、電漿氮化和快速升溫製程處理,以及整合式多階段製程,如高介電常數電晶體閘極堆疊製程。

Centura 架構將四個製程台和兩個輔助反應室集合在中央轉移模組周圍,模組含有一個超可靠的磁耦合式真空機械手臂。