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Centura®

Centura 是應用材料具備最多元功能的平台,現已銷售給全球客戶逾 8,000 件,用於各種領域的應用,包含 ALD、CVD、磊晶、蝕刻、光罩製程、PVD、電漿摻雜、電漿氮化和快速升溫製程處理,以及整合式多階段製程,如高介電常數電晶體閘極堆疊製程。