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Centris™

Centris 是應用材料最新系列的半導體製程平台,其獨特的真空預載反應室整合了六個獨立製程反應室和兩個電漿無塵室;這些反應室集中在高速傳送機械手臂周圍,使產能達到每小時 180 片晶圓,是其他競爭系統的兩倍。

Centris 平台結合「智慧」系統監測軟體和 NIST 可追蹤參考標準,能確保每一片生產的晶圓具有領先業界的均勻度和重複性:這在未來高複雜性的晶片設計中,達到高良率的關鍵需求。