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ALD

ALD 是當今最先進的平面元件及產業轉型至三維架構的關鍵推手。應用材料 ALD 系統會以一次產生一小部份單層的方式,在晶圓上面沉積各類氧化物、金屬氮化物和金屬物,並在先進的電晶體、記憶體和導線應用中建立多個超薄層。