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快速热处理(RTP)

快速热处理在半导体器件制造中频繁使用,例如用于激活注入的掺杂剂或改变材料的状态(或相)来增强所需的属性(例如导电性能)。均温退火、尖峰退火、毫秒退火和快速干氧化等热处理技术适用于不同的应用。