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Producer®

应用材料公司的 Producer 平台是业内最快速、最具成本效益的晶圆加工平台,其占地极其紧凑,每分钟能够加工三片以上的晶圆。Producer 的自动机械臂可在三对加工站与独特的双层真空装载腔之间同时传送四片晶圆。

应用材料公司销往全球各地的 Producer 系统超过 5,000 套。 业内所有芯片制造商均采用 Producer 系统,以便通过最先进的技术节点制造各种类型的半导体器件。 Producer 系统已在所有先进的 CVD(化学气相沉积)芯片制造工艺(包括低介电质、应变工程、光刻薄膜、热薄膜和高温 PECVD 等离子增强化学气相沉积应用)领域确立了应用材料公司的领先地位。