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Producer®

应用材料公司的 Producer 平台是业内最快速、最具成本效益的晶圆加工平台,其占地极其紧凑,每分钟能够加工三片以上的晶圆。Producer 的自动机械臂可在三对加工站与独特的双层真空装载腔之间同时传送四片晶圆。